人物经历

工作经历

1989.09－1992.03 航天部207所，高级工程师

1992.04－1993.03 日本工业技术院（现产业技术综合研究所）计量研究院，客员研究员

1993.04－1997.09 日本科技厅，科学事业振兴事业团，研究员

1997.10－至今　 清华大学精仪系，1998年提升教授

主要成就

科研成就

主要研究包括大尺寸光栅的制作技术，光栅的离子束刻蚀及实时监测技术，中阶梯光栅的制作，光栅掩膜的无损检测，光栅参数高精度测量等。也包括光栅在计量中的应用，如二维光栅尺，基于光栅的外差调制技术，外差型傅立叶变换光谱仪等。

和日本东京大学，日本千叶大学，日本产业技术综合研究所，美国伯克利大学等有合作研究。发表论文80余篇，其中SCI检索40余篇，拥有3项发明专利。

荣誉表彰

2000年获日本“注目发明专利奖”。1999年获国家“杰出青年科学基金”和教育部“优秀青年教师基金”。

社会任职

Measurement Science and Technology杂志编委。

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姐的欢喜 » 曾理江（清华大学精密仪器系教授）
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